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標(biāo)題: GB/T 16879-1997 掩模曝光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-13 09:50
標(biāo)題: GB/T 16879-1997 掩模曝光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 16879-1997
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 掩模曝光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則  
【 英文名稱 】 Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-6-20
【 實施日期 】 1998-3-1
【 開本頁數(shù) 】 8P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 SJ/T 10152-91; SJ/T 10584-94
【 采用關(guān)系 】 IDT SEMI P21-92
【 起草單位 】 中國科學(xué)院微電子中心
【 起 草 人 】 陳寶欽; 陳森錦; 廖溫初

BZ002023495.pdf

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