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標(biāo)題: GB/T 14847-1993 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度紅外反射測(cè)法 [打印本頁]
作者: jinyibu    時(shí)間: 2008-11-27 22:44
標(biāo)題: GB/T 14847-1993 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度紅外反射測(cè)法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 14847-1993
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測(cè)量方法  
【 英文名稱 】 Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-12-24
【 實(shí)施日期 】 1994-9-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F95-1989,EQV

bz001011667.pdf

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