| 測量方法 | 可測范圍 | 測量部位 | ||
Ra值（μm） | Rz值（μm） | 相當舊國標級 | ||
| 直接目測比較法 觸覺比較法 放大鏡比較法 顯微鏡比較法 光切法（光切顯微鏡） 光干涉法（干涉顯微鏡） 針描法（輪廓儀） 印模法 全息干涉法 激光光斑法 光纖法 | 63~2.5 10~0.63 2.5~0.32 10~0.1 16~0.16 0.08~0.01 5~0.02 ＞0.04 0.16~0.01 1.6~0.02 ＜0.25 | 250~10 40~3.2 10~1.6 40~0.5 63~0.8 0.4~0.03 20~0.1 ＞0.2 0.8~0.05 6.3~0.05 ＜1.25 | ▽1~▽5 ▽4~▽7 ▽5~▽8 ▽4~▽10 ▽3~▽9 ▽10~▽14 ▽5~▽12 ▽1~▽11 ▽9~▽13 ▽6~▽12 ▽9~ | 外表面 內(nèi)、外表面 外表面 外表面 外表面 外表面 內(nèi)、外表面 內(nèi)表面 平面 外表面 內(nèi)表面 |
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