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計量論壇

標題: 請教--推車、料架接地電阻測量方法 [打印本頁]

作者: kiming.wu 時間: 2008-10-27 13:00
標題: 請教--推車、料架接地電阻測量方法
不知各位高手有誰做過工廠里面的ESD量測工作。
我想請教一下：
產線上所使用的推車、料架，如果和產品有直接接觸，需不需要測試其接地電阻？
如果要測量，測量方法是什么？規格又是多少？

我曾試驗過用萬用表測量，一端放在推車的金屬部位，一端放在地板上地網結點處。但測試結果跳動很大，測量時間越久，電阻越小，甚至從兆歐最后測到了千歐！

是否可以通過別的方法驗證推車料架的接地情況，比如測量對地電阻？表面電阻等。請各位指教。

作者: maintek 時間: 2008-10-27 20:31
1.所有用在EPA區域的設備，都需要定期測量其ESD性能，具體方法與規格可以參照S20.20標準

2.你應該是用的數字萬用表吧，數字萬用表最容易受干擾，你用該用帶重錘的表面阻抗測試儀測量

作者: zhangqilinlin 時間: 2008-10-27 21:25
采用重錘式電阻測試儀進行測試。
對于表面是非金屬材質的運輸車，需要對其測量表面電阻及對地電阻；對于表面為金屬材質的運輸車，則只需要測試對地電阻。
我們采用的標準是IEC61340-5-1，它要求working surface,storage rock & trolleys的表面電阻為：

1*104≤Rp≤1*1010

對地電阻為：

7.5*105≤Rp≤1*109

你可以作為參考。

作者: kiming.wu 時間: 2008-10-27 23:51
謝謝樓上兩位大哥分享寶貴經驗,其實我也想嘗試重錘式電阻測試儀進行量測,但是總有個問題搞不明白,所以又放棄了:
1.我們公司是無塵室,地板都是可以防靜電的,這樣的話,是不是可以將一個重錘放在推車上(推車是金屬的),一個放在地板上就可以了?
2.這樣的話其實也是相當于測量推車和地板構成的立方體的"體電阻",那么兩個重錘之間的距離就會影響體電阻的大小,請問如果用這樣的測量方法, 兩個重錘之間的距離是不是應該有什么限制呢?

由于小弟第一次接觸ESD工作,可能會問的比較細比較煩瑣,勞煩各位大哥幫忙,在此先謝過了!!

作者: kiming.wu 時間: 2008-10-29 12:46
標題: 此問題的進展進度
各位，小弟已于今日進入Fab內測量，驗證兩個重錘之間的距離是否會影響到量測結果，以下是測量數據：
兩重錘之間的距離量測結果
30cm                         5.86*105
60cm                         4.87*105
120cm                            6.40*105
因根據ESD S20.20，對地電阻需要小于10的9次方歐姆，而我的測量結果都是10的5此方歐姆，因此我認為上述三者差別不大。
也就是說：本人認為重錘之間的距離不會影響測量結果。
不知此方法驗證是否可行，希望高手指點一.二

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