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標(biāo)題:
YS/T 23-1992硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-6-14 10:51
標(biāo)題:
YS/T 23-1992硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 YS/T 23-1992
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法
【 發(fā)布單位 】 CSIC-YS
【 批準(zhǔn)單位 】 中國有色金屬工業(yè)總公司
【 發(fā)布日期 】 1992-3-9
【 實施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 起草單位 】 上海市有色金屬總公司半導(dǎo)體材料廠
硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法.pdf
2008-6-14 10:51 上傳
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