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計量論壇
標(biāo)題:
YS/T 27-1992晶片表面上微粒沾污測量和計數(shù)的方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-6-14 10:48
標(biāo)題:
YS/T 27-1992晶片表面上微粒沾污測量和計數(shù)的方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 YS/T 27-1992
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 晶片表面上微粒沾污測量和計數(shù)的方法
【 發(fā)布單位 】 CSIC-YS
【 批準(zhǔn)單位 】 中國有色金屬工業(yè)總公司
【 發(fā)布日期 】 1992-3-9
【 實施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 24-65,EQV
【 起草單位 】 上海第二冶煉廠
晶片表面上微粒沾污測量和計數(shù)的方法.pdf
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