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標題: JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校... [打印本頁]
作者: 陰雨曉夢    時間: 2025-7-18 15:09
標題: JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校...
主題：JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范
內容：
【 標準名稱 】JJF(電子)0072-2021
【 標準編號 】非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范
【 英文名稱 】Calibration Specification of Semiconductor Wafer ResistivityTest System by Non -contact Eddy Current Method
【 發布單位 】中華人民共和國工業和信息化部
【 歸口單位 】中國電子技術標準化研究院
【 發布日期 】 2021-12-02
【 實施日期 】 2022-04-01
【 開本頁數 】
【 替代標準 】首次發布
【 起草單位 】
【 起 草 人 】

JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范.pdf

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