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【 標準編號 】 GB/T 19921-2005
【 標準名稱 】 硅拋光片表面顆粒測試方法
【 英文名稱 】 Test method of particles on silicon wafer surfaces
【 發布單位 】 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局; 中國國家標準化管理委員會
【 發布日期 】 2005-9-19
【 實施日期 】 2006-4-1
【 開本頁數 】 10P
【 引用標準 】 ASTM F1620-96; ASTM F 1621-96; SEMI M1-0302
【 起草單位 】 北京有色金屬研究總院
【 起 草 人 】 孫燕; 盧立延; 董慧燕; 劉紅艷; 翟富義
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