計量論壇
標題: 您了解激光干涉儀在計量檢定領(lǐng)域的應用嗎？ [打印本頁]
作者: 中圖儀器 時間: 2022-8-17 10:52
標題: 您了解激光干涉儀在計量檢定領(lǐng)域的應用嗎？
激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長度基準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛用于高端裝備如數(shù)控機床、激光切割機、光刻機等，在計量檢定領(lǐng)域也能大展身手，今天小編就給大家介紹幾種常見的應用。
1.測長機檢定
傳統(tǒng)的測長機示值誤差主要采用量塊進行校準，受環(huán)境因素影響較大，校準條件要求高，且量程大于1m的測長機需要分段校準，效率低，而使用激光干涉儀進行校準，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進行補償，提高校準精度。
SJ6000激光干涉儀檢定測長機
2.三坐標測量機示值誤差測量
隨著三坐標測量機技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標測量機的檢測要求，激光干涉儀測量準確度高，測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適合測量三坐標各項幾何誤差。
SJ6000激光干涉儀檢測三坐標測量機
3.位移傳感器檢定
利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點是測量精度高、反應速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標準)對定長位移進行測試對比,得出往復測試實驗結(jié)果。
SJ6000激光干涉儀檢測位移傳感器
4.影像儀定位精度測量
影像儀傳統(tǒng)檢測方法采用線紋尺比對法進行，存在著檢測精度低、測量系統(tǒng)誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準、 檢測效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對影像儀的定位誤差進行快速檢測，對測量數(shù)據(jù)進行運算分析，利用軟件生產(chǎn)補償文件快速實施二維平面多點位補償，可大大降低設(shè)備制造過程中的精度檢測難度、提升檢測效率及補償效率。
SJ6000激光干涉儀檢測影像儀
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