1引言
高性能激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點,是校準(zhǔn)數(shù)字機床、坐標(biāo)測量機及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,作者所在單位使用的是英國RENISHAW公司生產(chǎn)的ML10激光干涉儀,具有性能穩(wěn)定,使用方便等特點。
通過較長時間使用,作者認(rèn)為測量人員除了要考慮環(huán)境、溫度、原理等影響測量的常規(guī)因素外,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。
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