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計(jì)量論壇

標(biāo)題: 支撐光學(xué)制造的幾何量計(jì)量技術(shù) [打印本頁]
作者: 醬里個(gè)醬    時(shí)間: 2012-10-20 12:23
標(biāo)題: 支撐光學(xué)制造的幾何量計(jì)量技術(shù)
幾何量計(jì)量技術(shù)大量應(yīng)用于光學(xué)制造業(yè)以檢測(cè)零件質(zhì)量和控制生產(chǎn)過程,是光學(xué)制造業(yè)的核心技術(shù),涉及微納米結(jié)構(gòu)的幾何量計(jì)量以及平面、球面、非球面、直紋曲面及自由曲面的面形計(jì)量.本文綜述了德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院支撐光學(xué)制造的部分計(jì)量技術(shù).介紹了一種測(cè)量范圍為25 mm×25 mm×5 mm的計(jì)量型大范圍原子力顯微鏡(AFM),可靈活多樣地測(cè)量各種微納結(jié)構(gòu).介紹了一種新穎的AFM探針(ACP),可實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌的直接、無損測(cè)量.介紹了一種應(yīng)用Flared AFM探針的真三維AFM及其用于減少針尖磨損的矢量探測(cè)技術(shù),可應(yīng)用于各種納米結(jié)構(gòu)的真三維測(cè)量.介紹了可用于平面和中等曲面面形絕對(duì)測(cè)量的兩種方法:差分型激光束偏轉(zhuǎn)法和可溯源多路傳感器法(TMS).討論了面形測(cè)量中存在的挑戰(zhàn)性難題.介紹了可用于面形測(cè)量的高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī).
作 者： 戴高良 SCHULZ Michael EHRET Gerd DANZEBRINK Hans-Ulrich FLUEGGE Jens BOSSE Harald DAI Gao-liang SCHULZ Michael EHRET Gerd DANZEBRINK Hans-Ulrich FLUEGGE Jens BOSSE Harald   
作者單位： 德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院 ,布倫瑞克38116

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