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標題:
ASTM F 1238-1995 微電子設備用耐熔硅化物濺射電極
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作者:
兌水
時間:
2009-11-30 10:11
標題:
ASTM F 1238-1995 微電子設備用耐熔硅化物濺射電極
F1238-95(2003) Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
ASTM F 1238-1995.pdf
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